ENTEGRIS，WGMXMBPRF2，WGMXMBSS2，WGMXMBSS3?
?
Wafergard ?MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現出色?
專為高流量和低增量壓力應用而設計?
用于惰性和反應性氣體，包括臭氧?
為快速啟動而預先調節（僅限銀色）?
應用
Wafergard ?MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
?產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
? 住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
? 揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表面處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
? 經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
? 最大入口壓力
? Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR ?兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
? ? 青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? ? Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok ?兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? 最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
? 最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
? 最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
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顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
Wafergard ?MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR ?入口，1/4" 母 VCR ?出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克 ?112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克 ?117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克 ?118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克 ?112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克 ?117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克 ?118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR ? 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR ?127 毫米（5.00 英寸）