ENTEGRIS英特格，WG2F02RR2，WG2F02JJ2，WG2F02JJ4
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Wafergard ?II F Mini XL 在線氣體過濾器
在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進(jìn)行卓越的顆粒過濾。
緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地面積，節(jié)省了寶貴的設(shè)備空間
PTFE 膜提供高效過濾，提高產(chǎn)品產(chǎn)量
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風(fēng)險(xiǎn)
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
應(yīng)用
Wafergard ?II F Mini XL 在線氣體過濾器應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
煤氣柜
超純氣體系統(tǒng)
閥組箱
氣體面板
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產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?濾芯?? ?由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房?? ?電拋光 316L 不銹鋼
下游清潔度?? ?粒子?? ?<0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3) >0.01μm
揮發(fā)物?? ?<10 ppb 水分
移除等級(jí)?? ?0.0015 微米?? ??
表面處理內(nèi)部?? ?≤10 μin Ra?? ??
氦泄漏等級(jí)?? ?合格的?? ?2 × 10 -10 atm/cc-sec
經(jīng)過測(cè)試?? ?1 × 10 -9 atm/cc-sec
濃度分辨率?? ?±0.015 ppm
運(yùn)行條件?? ?最大入口壓力：?? ?20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向壓差：?? ?0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差：?? ?0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度：?? ?120°C (248°F)
顆粒保留?? ?大于 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級(jí)?? ?參考性能數(shù)據(jù)
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零件號(hào)?? ?接頭尺寸和類型?? ?長(zhǎng)度
WG2F02JJ2?? ?1/4" 對(duì)焊管?? ?133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4?? ?1/2" 對(duì)焊管?? ?133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1?? ?1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口?? ?115.5 毫米（4.55 英寸）
WG2F02RR2?? ?1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口?? ?127.0 毫米（5.00 英寸）
WG2F02RR4?? ?1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口?? ?133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1?? ?3/8" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口?? ?119.3 毫米（4.70 英寸）