美國(guó)ENTEGRIS英特格，氣體過濾器 WGMXMSRR4
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?nbsp;CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測(cè)下限為 5 ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經(jīng)過測(cè)試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard® MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號(hào)
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PART NUMBER |
FITTING SIZE AND TYPE |
LENGTH |
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WGMXMBPRF2 |
1/4" male VCR® inlet, 1/4" female VCR® outlet |
141.2 mm (5.6") |
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WGMXMBRR2 |
1/4" male VCR® |
127 mm (5.00") |
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WGMXMBRR4 |
1/2" male VCR® |
127 mm (5.00") |
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WGMXMBSS2 |
1/4" Swagelok® |
112.7 mm (4.44") |
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WGMXMBSS3 |
3/8" Swagelok® |
117.9 mm (4.64) |
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WGMXMBSS4 |
1/2" Swagelok® |
118.7 mm (4.67") |
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WGMXMPRR2 |
1/4" male VCR® |
127 mm (5.00") |
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WGMXMPRR4 |
1/2" male VCR® |
127 mm (5.00") |
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WGMXMPSS2 |
1/4" Swagelok® |
112.7 mm (4.44") |
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WGMXMPSS3 |
3/8" Swagelok® |
117.9 mm (4.64) |
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WGMXMPSS4 |
1/2" Swagelok® |
118.7 mm (4.67") |
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WGMXMSBW2 |
1/4" Butt weld tube |
133.4 mm (5.25") |
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WGMXMSBW3 |
3/8" butt weld tube |
133.4 mm (5.25") |
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WGMXMSBW4 |
1/2" Butt weld tube |
133.4 mm (5.25") |
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WGMXMSRR2 |
1/4" male VCR® |
127 mm (5.00") |
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WGMXMSRR4 |
1/2" male VCR® |
127 mm (5.00") |