Wafergard ?III NF-30 在線氣體過(guò)濾器
為超純氣體系統(tǒng)過(guò)濾提供卓越的微粒過(guò)濾。
全金屬結(jié)構(gòu)提供最清潔、最高效的全金屬過(guò)濾器
獲得專利的鎳過(guò)濾膜具有出色的耐腐蝕性和出色的化學(xué)相容性
創(chuàng)新的外殼設(shè)計(jì)有助于消除排氣并減少干燥時(shí)間
高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
通常用于高達(dá) 30 slpm 的流量
?應(yīng)用
Wafergard ?III NF-30 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用
大宗氣體輸送
光刻
沉積
干法蝕刻
離子注入
注意：不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?濾膜：?? ?獲得專利的燒結(jié)鎳
住房：?? ?電拋光 F20 不銹鋼
下游清潔度?? ?顆粒：*?? ?小于 0.03 個(gè)顆粒/升（小于 1 個(gè)顆粒/ft 3）大于 0.01 μm
揮發(fā)物：**?? ?H 2 O、O 2和 THC 的揮發(fā)性釋氣低于可檢測(cè)限（在室溫下通過(guò) RGA 和 FID）
移除等級(jí)?? ?≥0.0015 μm?? ?
表面處理內(nèi)部?? ?≤5 μin Ra?? ?
氦泄漏率?? ?合格的：?? ?2x10 -10 ?atm cc/秒
測(cè)試：?? ?1x10 -9 ?atm cc/秒
最大工作條件?? ?最大入口壓力：?? ?70 bar (1000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向/反向壓差：?? ?10 巴 (150 psid)
最高工作溫度?? ?惰性氣體：?? ?35 bar (500 psi) 時(shí) 400°C (752°F)
腐蝕性和反應(yīng)性氣體：?? ?50°C (122°F) 在 70 bar (1000 psi)
保修單?? ?5年?? ?
顆粒保留?? ?在 30 slpm 時(shí)所有顆粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV)
在 75 SLPM 時(shí)，所有顆粒的去除率大于 99.9999%（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量?? ?參考流量曲線?? ?
*顆粒清潔度符合 SEMASPEC 顆粒脫落測(cè)試方法 (#93021511A-STD)
**揮發(fā)性清潔度符合 SEMASPEC 測(cè)試方法：THC 貢獻(xiàn) (#90120396B-STD)、水分貢獻(xiàn) (#90120397B-STD)、氧氣貢獻(xiàn) (# 90120398B-STD)
零件號(hào)
Wafergard ?III NF-30 在線氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào)?? ?接頭尺寸和類型?? ?長(zhǎng)度
WG3NS3FF2?? ?1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）內(nèi)螺紋入口/出口?? ?58.4 毫米（2.30 英寸）
WG3NS3FR2?? ?1/4" 極化墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）內(nèi)螺紋入口/外螺紋出口?? ?71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NS3JJ2?? ?1/4" 對(duì)焊管?? ?28.4 毫米（1.12 英寸）
WG3NS3RF2?? ?1/4" 極化墊片密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內(nèi)螺紋出口?? ?71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NS3SL2?? ?1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短版?? ?58.7 毫米（2.31 英寸）
WG3NS6RR2?? ?1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口?? ?84.1 毫米（3.31 英寸）