英特格ENTEGRIS快速排氣擴(kuò)散器，WG3D25LR2現(xiàn)貨8個(gè)
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通過(guò)減少負(fù)載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時(shí)間來(lái)提高效率和吞吐量。
獲得專利的燒結(jié)鎳技術(shù)可在所有應(yīng)用中提供卓越的性能
設(shè)計(jì)能夠從進(jìn)入的氣體中去除大于?0.0015?μm?的顆粒，從而最大限度地減少晶圓缺陷
提供快速排氣，而不會(huì)干擾或向晶圓添加顆粒，減少循環(huán)時(shí)間，同時(shí)提高產(chǎn)量
將擴(kuò)散器的流動(dòng)特性與高效過(guò)濾器相結(jié)合，以提高效率和吞吐量
易于改裝/安裝到現(xiàn)有工具中，最大限度地減少停機(jī)時(shí)間
產(chǎn)品規(guī)格
材料 擴(kuò)散器元件：獲得專利的燒結(jié)鎳膜過(guò)濾器
? 外殼：316L不銹鋼
? 內(nèi)部表面光潔度：≤32?μin?Ra
表現(xiàn) 下游清潔度：清潔度小于?0.03?個(gè)顆粒/升（<1?個(gè)顆粒/英尺3）大于?0.01?μm?在額定流量下
? 去除率：≥0.0015?μm
? 可靠性：在?25°C?(77°F)?的最大額定入口壓力下，100,000?次循環(huán)的可靠性
零件號(hào) O?型圈尺寸 O型圈槽外徑 出口連接類型 O?型圈槽內(nèi)徑 O?型圈?凹槽深度 操作條件，最大入口壓力，出口至真空 工作條件，最大壓差 工作條件，最高工作溫度 入口連接類型
WG3D16TR2 2-117 26.4?毫米（1.03?英寸） ISO?NW-16，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn)?ISO?隔板夾兼容 20.3?毫米（0.79?英寸） 1.9?毫米（0.07?英寸） 0.7?兆帕（100?磅/平方英寸） 0.8?兆帕（115?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈 1/4"?VCR??兼容公墊圈密封接頭
WG3D228R2 2-117 26.4?毫米（1.03?英寸） ISO?NW-16，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn)?ISO?隔板夾兼容 20.3?毫米（0.79?英寸） 1.9?毫米（0.07?英寸） 0.7?兆帕（100?磅/平方英寸） 0.8?兆帕（115?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈 1/4"?VCR??兼容公或母墊圈密封接頭或?qū)附宇^
WG3D25LR2 2-123 35.9?毫米（1.41?英寸） ISO?NW-25，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn)?ISO?隔板夾兼容 29.8?毫米（1.17?英寸） 1.9?毫米（0.07?英寸） 0.7?兆帕（100?磅/平方英寸） 0.8?兆帕（115?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈 1/4"?VCR??兼容公墊圈密封接頭
WG3D25SR2 2-123 35.9?毫米（1.41?英寸） ISO?NW-25，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn)?ISO?隔板夾兼容 29.8?毫米（1.17?英寸） 1.9?毫米（0.07?英寸） 0.7?兆帕（100?磅/平方英寸） 0.8?兆帕（115?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈 1/4"?VCR??兼容公墊圈密封接頭
WG3D350R2 2-117 26.4?毫米（1.03?英寸） ISO?NW-16，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn)?ISO?隔板夾兼容 20.3?毫米（0.79?英寸） 1.9?毫米（0.07?英寸） 0.7?兆帕（100?磅/平方英寸） 0.8?兆帕（115?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈 1/4"?VCR??兼容公或母墊圈密封接頭或?qū)附宇^
WG3D35BW2 2-117 26.4?毫米（1.03?英寸） ISO?NW-16，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn)?ISO?隔板夾兼容 20.3?毫米（0.79?英寸） 1.9?毫米（0.07?英寸） 0.7?兆帕（100?磅/平方英寸） 0.8?兆帕（115?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈 1/4"?VCR??兼容公或母墊圈密封接頭或?qū)附宇^
WG3D3LBW2 沒有任何 沒有任何 沒有任何 沒有任何 沒有任何 0.7?兆帕（100?磅/平方英寸） 0.8?兆帕（115?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈 20?mm?對(duì)焊管接頭
WG3D401R2 2-246 114.3?毫米（4.50?英寸） ISO?NW-100，螺栓穿過(guò) 122.4?毫米?(4.81) 2.6?毫米（0.10?英寸） 0.25?兆帕（35?磅/平方英寸） 0.35?兆帕（50?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈 1/4"?VCR??兼容公墊圈密封接頭
WG3D40DR2 2-224 52.1?毫米（2.05?英寸） ISO?NW-40，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn)?ISO?隔板夾兼容 44?毫米（1.73?英寸） 2.6?毫米（0.10?英寸） 0.3?兆帕（45?磅/平方英寸） 0.4?兆帕（60?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈 1/4"?VCR??兼容公墊圈密封接頭
WG3D40TR2 2-224 52.1?毫米（2.05?英寸） ISO?NW-40，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn)?ISO?隔板夾兼容 44?毫米（1.73?英寸） 2.6?毫米（0.10?英寸） 0.7?兆帕（100?磅/平方英寸） 0.8?兆帕（115?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈 1/4"?VCR??兼容公墊圈密封接頭
WG3D50DR2 2-229 67.9?毫米（2.67?英寸） ISO?NW-50，隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn)?ISO?隔板夾兼容 59.9?毫米（2.35?英寸） 2.6?毫米（0.10?英寸） 0.2?兆帕（30?磅/平方英寸） 0.3?兆帕（45?磅/平方英寸） 100°?C?(212°?F)?帶?O?形圈，400°?C?(752°?F)?不帶?O?形圈
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