ENTEGRIS英特格金屬氣體過濾器，SI2N0100B

ENTEGRIS英特格金屬氣體過濾器，SI2N0100B

ENTEGRIS英特格金屬氣體過濾器，SI2N0100B

ENTEGRIS英特格金屬氣體過濾器，SI2N0100B

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Wafergard??III?散裝在線金屬氣體過濾器

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全金屬高流量過濾器滿足了在交付點提供無顆粒工藝氣體的關注和需求。

適用于所有工藝氣體的鎳過濾膜
提供多種配件類型以滿足客戶的安裝要求?
提供 0.0015 μm 過濾技術，可滿足最苛刻的超潔凈散裝氣體輸送需求
應用
Wafergard ?III 散裝在線金屬氣體過濾器應用
散裝氣田和散裝特種氣體系統 (BSGS)
超高純度氣體管線
高溫應用
新工廠建設和/或升級現有過濾器
?Part number?? ?Fitting configuration?? ?D1?? ?D2?? ?L1?? ?L2
SI2N0010R?? ?VCR male?? ?–?? ?38.1 mm (1.50")?? ?213 mm (8.4")?? ?35.9 mm (1.41")
SI2N0010RV?? ?VCR male?? ?–?? ?38.1 mm (1.50")?? ?213 mm (8.4")?? ?35.9 mm (1.41")
SI2N0025R?? ?VCR male?? ?–?? ?38.1 mm (1.50")?? ?305 mm(12.0")?? ?35.9 mm (1.41")
SI2N0025RV?? ?VCR male?? ?–?? ?38.1 mm (1.50")?? ?305 mm(12.0")?? ?35.9 mm (1.41")
SI2N0050R?? ?VCR male?? ?–?? ?76.2 mm (3.00")?? ?213 mm (8.4")?? ?35.2 mm (1.39")
SI2N0050RV?? ?VCR male?? ?–?? ?76.2 mm (3.00")?? ?213 mm (8.4")?? ?35.2 mm (1.39")
SI2N0050R4?? ?VCR male?? ?–?? ?76.2 mm (3.00")?? ?225 mm (8.86")?? ?30.2 mm (1.19")
SI2N0100B?? ?Butt weld?? ?25.4 mm (1.00"?? ?101.6 mm (4.00")?? ?267 mm (10.5")?? ?57.2 mm (2.25")
SI2N0100BRR6?? ?VCR male?? ?–?? ?101.6 mm (4.00")?? ?384 mm (15.1")?? ?115.85 mm(4.56")
SI2N0100BRR8?? ?VCR male?? ?–?? ?101.6 mm (4.00")?? ?384 mm (15.1")?? ?115.85 mm(4.56")
SI2N0200B?? ?Butt weld?? ?38.1 mm (1.50")?? ?101.6 mm (4.00")?? ?356 mm (14.0")?? ?57.2 mm (2.25")
SI2N0200B16?? ?Butt weld?? ?50.8 mm (2.00")?? ?101.6 mm (4.00")?? ?356 mm (14.0")?? ?52.1 mm (2.05")
SI2N0200R?? ?VCR male?? ?–?? ?101.6 mm (4.00")?? ?354 mm (13.9")?? ?56.4 mm (2.22")
SI2N0400B?? ?Butt weld?? ?50.8 mm (2.00")?? ?152.4 mm (6.00")?? ?358 mm (14.1")?? ?51.9 mm (2.05"
SI2N0200A1007?? ?ANSI 150 RF flange?? ?–?? ?101.6 mm (4.00")?? ?356 mm (14.0")?? ?44.5 mm (1.75")
SI2N0200A1015?? ?ANSI 150 RF flange?? ?–?? ?101.6 mm (4.00")?? ?356 mm (14.0")?? ?39.7 mm (1.56")
SI2N0200A1020?? ?ANSI 150 RF flange?? ?–?? ?101.6 mm (4.00")?? ?356 mm (14.0")?? ?38.5 mm (1.52")
SI2N0200J1015?? ?JIS 10K RF flange?? ?–?? ?101.6 mm (4.00")?? ?356 mm (14.0")?? ?41.7 mm (1.64")
SI2N0400A1030?? ?ANSI 150 RF flange?? ?–?? ?152.4 mm (6.00")?? ?358 mm (14.1")?? ?28.2 mm (1.11")
產品規格
材料?? ?濾芯?? ?燒結鎳膜過濾器
住房?? ?電拋光 VAR 316L 不銹鋼
移除等級?? ?0.0015 微米
表面處理內部?? ?<10 μin Ra
下游清潔度?? ?<0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/ft 3 ) >0.01 μm
氦泄漏等級?? ?1 x 10 -9 atm cc/秒
最大工作條件?? ?最大工作壓力：?? ?50 bar (725 psig) SI2N0010R, SI2N0025R
31 巴 (450 psig) SI2N0050R、SIN0100B、SI2N0200B、SI2N0200R
最大正向/反向壓差：?? ?5.2 巴 (75 psid)
惰性氣體中的最高工作溫度：?? ?200°C (392°F)
顆粒保留?? ?大于 99.9999999% (9 LRV) 在最大額定流量下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）

Wafergard ?III 散裝在線金屬氣體過濾器部件號
零件號?? ?接頭尺寸和類型?? ?長度
SI2N0010R?? ?10 CFM，1/2" VCR 公頭?? ?213 毫米（8.40 英寸）
SI2N0010RV?? ?10 CFM，1/2" VCR 公頭。V=超高純度?? ?213 毫米（8.40 英寸）
SI2N0025R?? ?25 CFM，1/2" VCR 公頭?? ?305 毫米（12.00 英寸）
SI2N0025RV?? ?25 CFM，1/2" VCR 公頭。V=超高純度?? ?305 毫米（12.00 英寸）
SI2N0050R?? ?50 CFM，3/4" VCR 公頭?? ?213 毫米（8.40 英寸）
SI2N0050RV?? ?50 CFM，3/4" VCR 公頭。V=超高純度?? ?213 毫米（8.40 英寸）
SI2N0100B?? ?100 CFM，對焊管?? ?267 毫米（10.50 英寸）
SI2N0100BRR8?? ?—?? ?384 毫米（15.1 英寸）
SI2N0200A1007?? ?200 CFM，3/4" ANSI 150 RF 法蘭?? ?356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0200A1015?? ?200 CFM，1 1/2" ANSI 150 RF 法蘭?? ?356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0200A1020?? ?200 CFM，2" ANSI 150 RF 法蘭?? ?356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0200B?? ?200 CFM，1 1/2" 對接焊管?? ?356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0200B16?? ?200 CFM，2" 對接焊管?? ?356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0200J1015?? ?200 CFM，40A JIS 10K 射頻法蘭?? ?356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0400A1030?? ?400 CFM，3" ANSI 150 RF 法蘭?? ?358 毫米（14.1 英寸）
SI2N0400B?? ?400 CFM，2" 對接焊管?? ?358 毫米（14.1 英寸）
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