美國英特格ENTEGRIS在線氣體過濾器WGFG21KP0
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Wafergard ?GT-Plus 在線氣體過濾器
幻燈片細(xì)節(jié)。?
?
以高達(dá) 30 slpm 的流速可靠地去除惰性氣體中的顆粒。
提供高效、低成本、使用點的惰性氣體過濾
> 99.9999999% 去除所有直徑大于 0.015 μm 的顆粒
應(yīng)用
Wafergard ?GT-Plus 在線氣體過濾器應(yīng)用
低進(jìn)氣過濾器
晶圓輸送系統(tǒng)
清潔干燥空氣 (CDA)?
產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?膜：?? ?疏水性氟聚合物 PTFE
??? ?支架、外殼：?? ?粉煤灰
推薦流量?? ?30 升/分鐘
連接?? ?1/8", 1/4" 壓縮密封
膜面積?? ?12 厘米2 (1.9 英寸2 )
顆粒保留?? ?>99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒（在最具穿透性的顆粒尺寸下驗證）
運行條件?? ?最大工作壓力：?? ?0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
??? ?最大正向壓差：?? ?0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
??? ?最大反向壓差：?? ?0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
??? ?最高工作溫度：?? ?50°C (122°F)
方面?? ?長度：?? ?1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
??? ?直徑：?? ?21.5 毫米（0.85 英寸）
Wafergard ?GT-Plus 在線氣體過濾器部件號
零件號?? ?接頭尺寸和類型?? ?長度?? ?選擇選項
WGFG01KP0?? ?1/8" 壓縮密封?? ?69.0 毫米（2.7 英寸）?? ?10 件裝過濾器
WGFG01KP3?? ?1/8" 壓縮密封?? ?69.0 毫米（2.7 英寸）?? ?3 件裝過濾器
WGFG21KP0?? ?1/4" 壓縮密封?? ?71.5 毫米（2.8 英寸）?? ?10 件裝過濾器
WGFG21KP3?? ?1/4" 壓縮密封?? ?71.5 毫米（2.8 英寸）?? ?3 件裝過濾器