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        • Chambergard?快速排氣擴(kuò)散器是可靠的選擇
          通過zui小化負(fù)載鎖定通風(fēng)循環(huán)來(lái)提高系統(tǒng)吞吐量
          時(shí)間。這些擴(kuò)散器可快速排放到大氣中
          而不會(huì)干擾或向腔室中的晶片添加顆粒。
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        材料擴(kuò)散器元件:專利,燒結(jié)鎳膜過濾器
        外殼:316L不銹鋼
        內(nèi)部表面光潔度:≤32μin Ra
        性能下游清潔度:在額定流量下,清潔度小于0.03個(gè)顆粒/升(<1個(gè)顆粒/ft3),大于0.01μm
        去除率:≥0.0015μm
        可靠性:25°C(77°F)下zui大額定入口壓力下的100000次循環(huán)可靠性
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