通用規(guī)格
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凈化氣體CDA、O2、N2、Ar、He、Ne、Kr、Xe
雜質(zhì)去除污染物出口純度
H2O<100 pptV
可冷凝有機(jī)物（如甲苯）<1 pptV
不凝有機(jī)物（如丁烷）<5 pptV
難熔化合物（如HMDSO）<1 pptV
揮發(fā)性酸（如SO2）<1 pptV
揮發(fā)性堿（如NH3）<10 pptV
出口顆粒過濾器Wafergard?--316不銹鋼膜，20μm或0.0015μm
壽命一年，入口含水量為3ppm，流速如圖所示
在下一頁(yè)。
壽命隨入口雜質(zhì)和流速而變化。聯(lián)系Entegris
特定應(yīng)用的壽命計(jì)算。
可再生是
危險(xiǎn)品（DG）編號(hào)
工作溫度0°??– 65攝氏度（32°??– 149°F)
He的泄漏率為1×10-9atm-cc/sec
結(jié)構(gòu)材料外殼：316L不銹鋼
CE認(rèn)證通過壓力設(shè)備指令（PED）
根據(jù)ASME?標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)
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Entegris 的 9N 氣體純化器是一類能將氣體純度提升至 9 個(gè) 9（即雜質(zhì)含量小于 1ppb）級(jí)別的高端純化設(shè)備，結(jié)合你提到的適用氣體種類及流量參數(shù)，其相關(guān)特性如下：
適用氣體：可對(duì) N?、Ar、He、Kr、Ne、Xe 等惰性氣體，以及 CF?、CH?、C?H?、C?H?、C?H??等鹵代烴和烴類氣體進(jìn)行純化。不同氣體的純化原理和內(nèi)部配置可能會(huì)有差異，但均旨在高效去除其中的 H?O、O?、CO、CO?、烴類等雜質(zhì)，以滿足半導(dǎo)體、科研等對(duì)氣體純度要求極高的領(lǐng)域需求。
流量規(guī)格：流量為 500slpm（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘），屬于中流量級(jí)別。Entegris 有不同系列的產(chǎn)品可覆蓋該流量需求，例如其 GateKeeper 系列部分型號(hào)能滿足類似流量范圍，可根據(jù)具體工藝需求和其他參數(shù)進(jìn)一步選型適配。
純度性能：作為 9N 級(jí)純化器，通常要求進(jìn)氣純度在 5 個(gè) 9 及以上，經(jīng)過純化后可實(shí)現(xiàn)氣體雜質(zhì)含量低于 1ppb 的超純水平，能夠?yàn)閷?duì)氣體純度極為敏感的工藝環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定可靠的高純氣體供應(yīng)。
GPUS200FHX0402CA?
GPUS200FOPO4R00CA
GPUS35FYXO4R02CA 含稅單價(jià)
GPUS500FIX04R00CA含稅單價(jià)
GPUS700FIX04R00CA?
GPUS70FIX04R00CA?
GPUS80FIX04R00CA?
GPUS80FYX04R02CA
GPUS2500FIX04R00CA?
GPUS200FOP04R00CA?
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