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        檢測/測量

        美國ENTEGRIS英特格過濾器WG2F02RR2 WG2FT1BW2
        • 美國ENTEGRIS英特格過濾器WG2F02RR2 WG2FT1BW2

        • 這些氣體過濾器適用于惰性氣體和活性氣體,與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性,并且易于安裝在空間狹小的氣體面板和機柜中。

          聚四氟乙烯膜提供高效過濾
          低壓降降低了低蒸氣壓氣體中冷凝的風險
          與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的相容性
          適用于惰性和反應性氣體,包括臭氧

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        產品規格
        材料
        過濾元件
        由模壓聚四氟乙烯結構支撐的疏水性聚四氟乙烯膜
        外殼?? ?電拋光的 VAR 316L 不銹鋼
        下游清潔度?? ?小于 0.03 個粒子/升(<1 個粒子/立方英尺),大于 0.01 微米
        揮發物?? ?<10 ppb 水分
        去除率?? ?≥0.0015 微米
        內部表面光潔度 ≤7 微英寸 Ra
        氦氣泄漏等級 ?通過認證?? ?2 × 10-10 立方厘米/秒
        測試值?? ?1 × 10-9 立方厘米/秒
        運行條件?? ?最大入口壓力?? ?207 巴(3000 磅/平方英寸)@ 23°C(73°F)
        最大正向壓差?? ?4 巴(60 磅/平方英寸)@ 23°C(73°F)
        最大反向壓差:23°C(73°F)時為 0.07 兆帕(0.7 巴、10 磅/平方英寸)
        最高工作溫度:120°C(248°F)
        顆粒保留率
        在 30 立方米每分鐘的流量下,對所有顆粒的去除率大于 99.9999999%(9 低限相對值),且針對最易穿透的顆粒尺寸進行測試。
        流量等級:請參考性能數據。

        PART NUMBERFITTING SIZE AND TYPELENGTHAPPLICATION
        WG2FT1BW2 1/4" Butt weld tube89.9 mm (3.54")Semiconductor
        WG2FT1RF2 1/4" gasket seal (compatible with VCR fitting) male inlet/ female outlet88.9 mm (3.50")Semiconductor
        WG2FT1RR2 1/4" Gasket seal (compatible with VCR fitting) male inlet/outlet84.1 mm (3.31")Semiconductor
        WG2FT1RR2L 1/4" Gasket seal (compatible with VCR fitting) male inlet/outlet84.1 mm (3.31")Life Sciences
        WG2FT1SS2 1/4" Compression seal (compatible with Swagelok fitting)73.7 mm (2.90")Semiconductor

        LOGO

        ?153 3523 8557?153 3523 8557

        無錫市錫山區錫北鎮東房橋文八路142號無錫市錫山區錫北鎮東房橋文八路142號

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