產品規格
材料?? ?過濾元件：NF - 專利的燒結鎳膜?? ?SF - 專有的燒結不銹鋼膜
外殼底座塊：SEMI? F20 316L 電拋光不銹鋼
進/出連接件：SurfaceLine 1.125" C 型密封件
拆除等級：>0.0015 微米
內表面光潔度：<5 微米 Ra
氦氣泄漏等級：已認證：2×10-10 立方厘米/秒 測試：1×10-9 立方厘米/秒
下游清潔度?? ?顆粒*?? ?<0.03 顆粒/升（<1 顆粒/立方英尺）≥0.01 微米
揮發物** 氫氣、氧氣和總碳氫化合物的揮發性氣體釋放量在室溫下低于可檢測限（通過 RGA 和 FID 測定）
顆粒保留?? ?NF - 對所有顆粒的去除率大于 99.9999999%（以最穿透的顆粒尺寸為基準）
SF - 對所有顆粒的去除率大于 99.9999%（以最穿透的顆粒尺寸為基準）
運行條件?? ?最大進氣壓力?? ?34.5 巴（500 磅/平方英寸）@ 20°C（68°F）
最大正向/反向壓差?? ?10 巴（150 磅/平方英寸）@ 23°C（73°F）NF-Micro 和 SF-Micro
8 巴（115 磅/平方英寸）@ 23°C（73°F）NF-Mini 和 NF-Mini XL
20 巴（300 磅/平方英寸）@ 23°C（73°F）
最大工作溫度 無害氣體：400°C（752°F）@ 35 巴（500 磅/平方英寸）
腐蝕性和反應性氣體：50°C（122°F）@ 35 巴（500 磅/平方英寸）
Part number Description
WGSLNFC1L Wafergard SL 1.125” C-Seal NF-Micro filter
WGSLNFC1M Wafergard SL 1.125” C-Seal NF-Mini filter
WGSLNFC1H Wafergard SL 1.125” C-Seal NF-Mini XL filter
WGSLSFC1L Wafergard SL 1.125” C-Seal SF-Micro filter
WGSLSFC1M Wafergard SL 1.125” C-Seal SF-Mini filter